마이크로LED 디스플레이 연구센터

본문 바로가기

보유 장비 현황

I. 표면 및 구조 분석 장비바로가기

Surface / Structure Analysis Equipment
image

FE-SEM, 광학 현미경, AFM, NSOM, XPS, GDS

II. 광학 및 전기적 특성 분석 장비바로가기

Optical / Chemical Analysis Equipment
image

MSP, Micro PL-Raman, Confocal PL/Raman,
PL Mapper, UV-vis, EL Probe Staion

III. Simulation 분석 장비바로가기

Simulation Analysis Equipment
image

WorkStation

IV. 디스플레이 모듈 및 구동 분석바로가기

Display Module / Driving Analysis Equipment
image

MicroLED PL/EL Cluster, NaPLATO 2D 분광방사선계,
Micro LED EL 프로브 스테이션, 열반사 현미경

공정 장비

I. 옐로우 룸바로가기

Yellow Room
image

DI Water Generator, Ultrasoniccator,
O2plasma deaner, Spin Coater, Mask Aligner, OM, Alpha Step

II. 화이트 룸바로가기

White Room
image

Ion-beam assited Sputter,DC/RF Sputter,
Thermal Evaporator, E-Beam Evaporator, ALD, RIE, RTP, Asher


ZEUS
장비예약
게시판 전체검색