마이크로LED 디스플레이 연구센터

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공정 장비 - 옐로우 룸

I. 옐로우 룸 Yellow Room

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DI Water Generator | 초순수제조장치
DI Water Generator | 초순수제조장치
NEW-DI (Sinhanst)
초순수 공급 장치
  • · 반도체 세척수로 사용
  • · 정확한 Resistivity 모니터링 가능
Features
  • · Water Quality : 18.2 MΩ·cm
  • · Rejection Rate : 이온, 입자, 미생물, 유기물 ≥ 99%
  • · Functions : Low pressure Auto-stop, Flush, Tank Full • Low Level Auto-stop, Recirculation
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Ultrasonicator | 초음파 세척기
Ultrasonicator | 초음파 세척기
SD-D250H (Mujigae)
샘플의 초음파 세척
  • · 샘플의 불순물을 초음파를 통해 세척
  • · 초음파 세기 조절이 가능해 세척 효율을 높임
  • · 주로 샘플을 아세톤과 IPA에 넣어 cleaning진행
Features
  • · Capacity : 6 L
  • · Ultrasonic Frequency : 40 KHz
  • · Operation Time : 0~60 min
    (Warming up the temperature of 30 ~ 80 ℃±10%)
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O2 Plasma Cleaner l O2 플라즈마 처리장치
O2 Plasma Cleaner l O2 플라즈마 처리장치
CUTE-2MPR (Femtoscience)
플라즈마를 사용한 표면 처리
  • · 샘플 표면의 오염물질 제거에 사용
  • · 표면을 물리적으로 접촉하지 않고 세척
  • · 표면 에너지를 증가 시켜 접착력이 향상되고 코팅에 도움을 줌
Features
  • · Operating mode : manual or automatic
  • · Substrate size : Max 4”
  • · Plasma generator frequency : 20-100 kHz
  • · Power : Max 100 W (200 W optional)
  • · Vacuum pump : pumping speed 80 l/min (5 m3/h)
    Ultimate pressure : 5 x 10-3 torr
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Spin Coater l 스핀 코터
Spin Coater l 스핀 코터
LT-MS 150 (LTS)
균일한 박막 코팅 제공
  • · 회전 속도를 조절하여 PR (Photo Resist)를 균일하게 코팅하기 위해 사용
  • · Recipe를 저장해 여러 PR을 코팅하는 것이 가능
Features
  • · Substrate size : Max. 6”
  • · Spin Speed : Max 5,000 RPM
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Mask Aligner | 마스크 얼라이너
Mask Aligner | 마스크 얼라이너
MDA-600S (Midas system) 장비 등록 번호 NFEC-2025-03-304254
미세 패턴 형성을 위해 사용
  • · 반자동 노광 시스템 적용
  • · Photoresist로 미세 패턴 형성을 위한 노광
  • · 듀얼 CCD 줌 현미경 적용
Features
  • · Substrate size : multi ~ 6”
  • · Beam wavelength : 350 ~ 450 nm
  • · Mercury Short arc Lamp, 350 W
  • · Process resolution : 1 μm PR thickness with vacuum contact
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Optical Microscope | 광학현미경
Optical Microscope | 광학현미경
BM51M (Olympus)
시료의 표면 형상 및 Size 분석
  • · 시료의 형상 및 크기 측정
  • · 분석 이미지의 Capture 및 동영상 촬영 가능
  • · 측정모드 : Brightfield, Darkfield, 편광, 미분간섭(DIC) 관찰 가능
Features
  • · 대물렌즈 : x5, x10, x20, x50, x100
  • · 대안렌즈 : x10
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Surface Profiler (Alpha-Step) l 표면단차측정기
Surface Profiler (Alpha-Step) l 표면단차측정기
D-300 (KLA Tencor)
시료의 표면 단차 분석
  • · 패터닝 된 시료의 단차 측정
  • · 측정시 실시간 모니터링이 가능해 측정 지점 파악가능
  • · 측정 Force 조절이 가능해 PR과 같은 soft한 표면 측정 가능
Features
  • · Sample stage : 140 mm
  • · Scan length : up to 30 mm in a single scan
  • · Vertical range : ~1000 μm
  • · Force : 0.5 ~ 15 mg
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Hot Plate | 핫 플레이트
Hot Plate | 핫 플레이트
MaXtir TM HP500 (Daihan Science)
PR의 bake, 박막 annealing 등 열처리에 사용
  • · 정밀한 온도 조절 및 유지 가능
  • · 최대 500 까지 지원하고 고속 가열 기능 제공
  • · 원하는 온도와 시간 조절 가능
Features
  • · Plate size : 200 x 200 mm
  • · Temperature range : Max. 500℃
  • · Timer : 99 hr 59 min (with Continuous run.)
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