마이크로LED 디스플레이 연구센터

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디스플레이 모듈 및 구동 분석

IV. 디스플레이 모듈 및 구동 분석 Display Module / Driving Analysis Equipment

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제품 정보
마이크로LED웨이퍼 및 디스플레이 PL/EL측정 클러스터 장비
MiPLATO-PE (ETAMAX) 장비 등록 번호 NFEC-2022-06-279840
Micro LED 디스플레이 PL/EL 클러스터 분석장비 (Micro PL & EL System)
  • · 마이크로LED 용 Epi Wafer 와 소자 공정이 완료된 MicroLED Chip의 검사
  • · Micro PL 과 EL을 상호 비교하는 Cluster 검사 장비
  • · PL 및 EL 단독 활용도 가능한 설비로, PL mapping을 통한 기판 검사 가능
Features
  • · Micro PL 측정 : 4” ~ 8” R, G, B COW & Epi Wafer 측정, 380 ~ 800 nm
  • · Micro EL 측정 : 최소 Pad 20 μm X 20 μm, IV 및 LI 측정
  • · PL측정 index와 연동하여 PL 불량 시료와 비교
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제품 정보
NanoPLATO | AOI/PL 기반 수율 측정장비
NaPLATO (ETAMAX) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272515
PL 발광 특성을 이용한 Micro LED의 공정 수율 분석
  • · AOI (Automated Optical Inspection) 기반 설비
  • · 365nm LASER 사용
Features
  • · X/Y Stage Stroke : 0 ~ 250mm, Z Stage Stroke : 0 ~ 56mm
  • · Line Scan Speed : 1mm/sec
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제품 정보
2D Spectroradiometer | 2D 분광방사선계
SR-5000HM (Topcon) 장비 등록 번호 NFEC-2021-12-274928
Display의 Pixel 휘도 및 색 분포 분석
  • · LCD, OLED, Quantum-Dot, MicroLED 로 이루어진 Display의 Pixel을 측정
  • · 색 균일도, 색 분포 및 이미지 품질 분석
  • · 고해상도 평판의 픽셀 색상 및 분석이 가능(Luminance : ±2%, Chromaticity : ±0.002)
  • · 380 ~ 780 nm까지의 401개 이미지의 생성 가능
  • · 현미경 : Olympus → Nikon (휘도의 절대값 측정 가능)
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제품 정보
Micro LED EL Probe Station
Customized EL Probestation with irradiance 장비 등록 번호 NFEC-2024-01-293628
시료의 전기적인 특성 분석에 활용
  • · I-V Curve, I-Time Curve
  • · MicroLED의 광출력 및 이미지 측정, L-I-V 측정을 통한 효율 분석
Features
  • · Probe Station 6” ambient coaxial
  • · Probe Tip – Diameter : 2 μm/ 5 μm
  • · Microscope – CCD Zoom Camera : 1000x
  • · Sourcemeter – Keithly 2450
  • · 기타 – Hot Chuck (Temp : RT ~ 200 ℃)
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제품 정보
Thermo-Reflectance Microscope | 열반사현미경
TRM250 (나노스코프시스템스) 장비 등록 번호 NFEC-2023-02-285449
시료의 열적 특성 평가 및 분석에 활용
  • · 미세 영역에 대한 고해상도 현미경 열영상 이미징이 가능
  • · 발열 영상, 이미지 및 반도체 소자 직접 회로 결합 검사 가능
Features
  • · Objective Lenses : 5x, 10x, 20x, 50x
  • · Spatial Resolution (Lateral): 0.5 μm
  • · Thermal Resolution : 1℃
  • · Spectral range : 370 ~ 1100 nm
  • · Filter configuration : 430, 455, 470, 505, 530, 565, 590, 625, 660, 700, 730, 780nm
  • · Thermoelectric heating plate : RT ~ 110℃

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