차세대 디스플레이 소재·부품 연구센터

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디스플레이 모듈 및 구동 분석

IV. 디스플레이 모듈 및 구동 분석 Display Module / Driving Analysis Equipment

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제품 정보
MiPLATO-PE
MiPLATO-PE (ETAMAX)
Micro LED 디스플레이 PL/EL 클러스터 분석장비 (Micro PL & EL System)
  • · 마이크로 LED 용 Epi Wafer 와 소자 공정이 완료된 Micro LED Chip의 검사
  • · Micro PL 과 EL을 상호 비교하는 Cluster 검사 장비임.
  • · PL 및 EL 단독 활용도 가능한 설비로써, 마이크로 LED 뿐만 아니라 파워 소자(GaN, SiC)기판에 대한 검사도 가능함
Features
  • · Micro PL 측정 : 4” ~ 8” R, G, B COW & Epi Wafer 측정, 380 ~ 800nm
  • · Micro EL 측정 : 최소 Pad 20um X 20um, IV 및 LI 측정
  • · PL측정 index와 연동되어 PL 불량 시료와 비교
  • · SiC 기판 검사 : Stacking Fault, Micro pipe, 3C Triangular defect, Bar type Stacking fault
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제품 정보
NanoPLATO
NaPLATO (ETAMAX) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272515
PL 발광 특성을 이용한 Micro LED의 공정 수율 분석
  • · AOI (Automated Optical Inspection) 기반 설비
  • · 365nm LASER 사용
Features
  • · X/Y Stage Stroke : 0 ~ 250mm, Z Stage Stroke : 0 ~ 56mm
  • · Line Scan Speed : 1mm/sec
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제품 정보
2D Spectroradiometer
SR-5000HM (Topcon) 장비 등록 번호 NFEC-2021-12-274928
Display의 Pixel 휘도 및 색 분포 분석
  • · LCD, OLED, Quantum-Dot, Micro LED 로 이루어진 Display의 Pixel을 측정 가능
  • · 색균일도, 색 분포의 분석 및 이미지 품질 분석에 활용
  • · 고해상도 평판의 픽셀 색상 및 분석이 가능함. (Luminance : ±2%, Chromaticity : ±0.002)
  • · 380 ~ 780nm까지의 401개 이미지의 생성 가능
성능향상 (2022년 예정)
  • · 현미경 : Olympus → Nikon (휘도의 절대값 측정 가능 예정)
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제품 정보
Micro LED EL Probe Station
8500CHC (MS Tech) 장비 등록 번호 NFEC-2024-01-293628
Micro LED의 광출력 및 EQE 특성 분석
  • · Micro LED의 광출력 측정 및 이미지 측정 가능
  • · Micro LED의 LIV 측정을 통한 외부 양자 효율 측정 가능
Features
  • · Microscope : Max 1000배
  • · Probe Tip : Diameter : 2um/5um (Bending Type)
  • · Spectromter : 200 ~ 1100nm
  • · Hot Chuck : RT ~ 200℃ (Resolution < 1℃)
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제품 정보
Confocal EL Probe Station
EL Measurement Setup CUSTOM 장비 등록 번호 NFEC-2024-01-293426
Micro LED 소자의 EL특성을 수십 나노미터 수준의 해상도로 측정할 수 있는 장비
Features
  • · Wavelength Range : 400 ~ 1000nm
  • · Probe Positioner unit : Resolution 1um (Travel 8/8/8mm)
  • · Sourcemter : Keithly 2400 (Voltage : Measurement Resolution 1uV)
  • · CCD : 2000x256 pixels
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제품 정보
Thermo-Reflectance Microscope
TRM250 (나노스코프시스템스)
시료의 열적 특성 평가 및 분석에 활용
  • · 미세 영역에 대한 고해상도 현미경 열영상 이미징이 가능
  • · 발열 영상, 이미지 및 반도체 소자 직접 회로 결합 검사 가능
Features
  • · Objective Lenses : 20x (long working), 50x (long working)
  • · Spatial Resolution (Lateral): 0.5μm
  • · Thermal Resolution : 1°C
  • · Spectral range : 370 ~ 1100nm
  • · Filter configuration : 472,534,586, 661, 775nm
  • · Thermoelectric heating plate : RT ~ 110 °C

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