마이크로LED 디스플레이 연구센터

Raman 및 PL을 통한 Chemical Composition, 응력/변형률, Band Gap 분석

• · Raman Range : 100 ~ 2000cm^-1
• · PL Range : 350 ~ 800nm

Features

• · Raman용 Laser : 633 nm
• · PL용 Dual Laser 장착 : 325 nm/442 nm

Raman 및 PL을 통한 Chemical Composition, 응력/변형률, Band Gap 분석

• · Raman Range : 100 ~ 2000cm^-1
• · PL Range : 400 ~ 900nm

Features

• · Laser : 405 nm, 532 nm
• · 2D Mapping, TRPL(Time-resolved PL) 분석

Features

• · Laser : 375 nm, 532 nm
• · Dominant Wavelength, Peak Wavelength 측정
• · FWHM, PL Intensity, Thickness, Wafer Bowing 측정

시료의 파장에 따른 흡수율, 또는 반사율 분석

• · 190 ~ 1100nm의 흡수 Spectrum 측정 가능
• · Transmission, Absorbance, Energy, Concentration 을 측정

Features

• · Wavelength Accuracy : ±1.0nm
• · Wavelength Reproducibility : ≤0.2nm
• · Spectral Bandwidth : 2nm
• · Light Source : Deuterium &Tungsten Lamp

Features

• · Probe Station - 6” ambient coaxial chuck_Low Leakage current (<50fA)
• · Microscope - CCD Zoom Camera : 300x, High Microscope : ~1000x
• · 기타 - Hot Chuck (Temp : RT ~ 200 ℃)

파형 재생 및 임의의 신호로 변환

• · 고정밀,고성능 장비의 정밀도 및 안정성 검증
• · 색 균일도, 색 분포 및 이미지 품질 분석
• · 고해상도 평판의 픽셀 색상 및 분석이 가능(Luminance : ±2%, Chromaticity : ±0.002)
• · 380 ~ 780 nm까지의 401개 이미지의 생성 가능

Features

• · Analog Sampling Rate : 125 MS/s
• · Channel : 2
• · Sine : 25 MHz, Pulse : 12.5 MHz
• · Arbitrary waveform : 2~8, 192 pts, 14 bit

다양한 신호 생성, 변조, 왜곡 기능을 통해 디바이스에 스트레스를 가하여 전자회로를 테스트 하는 장비에 활용

Features

• · Frequency Range – Pulse : 1μHz ~ 120 MHz / Sine : 1 μHz ~ 240 MHz
• · Waveforms – Noise, adjustable crest factor, sine, pulse, square, ramp, arbitrary waveform 1 or 2, differential output
• · Channel : 1 or 2, differential outputs
• · Output amplitude : 50Ω into 50Ω
• · Modulation types Transition times : AM, FM, PM, FSK, PWM external and internal, double pulse
• · Transition times : 2.5 ns to 1000 s (10% to 90%)
• · Output impedance : 50 Ω/5Ω selectable
• · Sample rate : 14 bit, 2 GSa/s arbitrary waveform

전자 및 전기의 교류 신호를 측정 분석 및 시간에 따른 신호의 변화를 시각적으로 확인

• · 대역폭 : 1GHz ~ 6GHz (2Channel)
• · Sampling Speed : 20GSa/s half channels

Features

• · 파형 업데이트 속도 : 45만회/sec
• · 메모리 Depth : 4Mpts
• · 6-in-1 계측기로 많은 작업 수행

MicroLED 소자의 EL특성을 수십 나노미터 수준의 해상도로 측정

• · MicroLED 소자의 I-V curve, EL spectrum 측정
• · Vacuum pump stage 장착으로 미세 소자 측정 안정성 확보

Features

• · Wavelength Range : 400 ~ 900 nm / Sample Size: ~3”
• · Sourcemeter : Keithly 2400

디스플레이 소자의 스펙트럼과 전기적 특성 분석

• · 360 ~ 830 nm Spectrum 측정 가능
• · 전기적 및 광학적 특성 분석을 통하여 외부 양자 효율 평가 가능

Features

• · Luminous Intensity : 0.002 mcd ~ 20 kcd
• · Luminous Flux : 0.01 mlm ~ 100 klm
• · Spectral Range : 360 ~ 830 nm
• · Spectral Resolution : 2.2 nm
• · Sourcemeter : Keithly 2601B