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광학 및 전기적 특성 분석 장비

II. 광학 및 전기적 특성 분석 장비 Optical / Chemical Analysis Equipment

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제품 정보
Microspectrophotometer (MSP)
20/30 PV (Craic Technologies) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272512
Micro 또는 Nano Size 시료의 파장에 따른 광학적 특성 분석
  • · UV ~ NIR 영역의 국소 부위에 대한 흡광도, 투과도, 반사율, Raman Spectrum 측정 가능
  • · 3D Image mapping, 색차 분석, 두께 분석
Features
  • · Spectrum Wavelength Range : 200 ~ 2100nm
  • · Sampling Area : 1 ~ 10,000μm2
성능향상 (2022년 예정)
  • · 온도 변화 Stage 장착 예정 (-195 ~ 350°C)
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제품 정보
LabRAM HR UV-Vis-NIR Raman Microscopy
LabRAM HR (HORIBA) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272552
Raman 및 PL을 통한 Chemical Composition, 응력/변형률, Band Gap 분석
  • · Raman Range : 100 ~ 3500cm-1
  • · Wavelength Range : 350 ~ 700nm
성능 향상 (2022년 예정)
  • · Dual LASER 장착 : 325nm/442nm (25mW/100mW)
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제품 정보
Confocal Raman Spectroscopy
Xperam-S500 (Nanobase) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272561
Raman 및 PL을 통한 Chemical Composition, 응력/변형률, Band Gap 분석
  • · Raman Range : 100 ~ 3500cm-1
  • · Wavelength Range : 350 ~ 700nm
성능 향상 (2022년 예정)
  • · Dual LASER 장착 : 325nm/442nm (25mW/100mW)
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제품 정보
Photoluminescence Mapper (PL Mapper)
PLATOM (ETAMAX) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272553
Wafer의 파장 특성 및 두께 분석
  • · Red ~ Blue LED Wafer의 파장, 두께, Bowing Maping 측정 (375 ~ 800nm)
  • · Sample : Wafer 2” ~ 6” 분석 가능
Features
  • · Dominant Wavelength, Peak Wavelength
  • · FWHM, PL Intensity, Thickness, Wafer Bowing 측정 가능
성능향상 (2022년 예정)
  • · RED Wafer 측정 가능 > 532nm LASER 설치
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제품 정보
UV-visible Spectrometer
Mega-V600 (Scinco) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272554
시료의 파장에 따른 흡수율, 또는 반사율 분석
  • · 325 ~ 1100nm의 흡수 Spectrum 측정 가능
  • · Transmission, Absorbance, Energy, Concentration 을 측정
Features
  • · Wavelength Accuracy : ±2nm
  • · Wavelength Reproducibility : ≤0.4nm
  • · Spectral Bandwidth : 2nm
  • · Light Source : Tungsten Lamp
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제품 정보
EL Probe Station
MST 5500B (MS Tech) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272514
시료의 전기적인 특성 분석에 활용
  • · I-V Curve, I-Time Curve, C-V Curve
성능향상 (2022년 예정)
  • · L-I-V Curve 측정 가능 예정
  • · 발광 Image 측정 가능 예정 > Sourcemter, Spectrometer 구매 예정
Features
Probe Station
6” ambient coaxial chuck_Low Leakage current (<50fA)
Microscope
CCD Zoom Camera : 300x, High Microscope : ~1000x
기타
Hot Chuck (Temp : RT ~ 200 degree)
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제품 정보
Arbitary Function Generator
AFG1022 (Tektronix) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272558
파형을 재생하거나,
파형들을 임의의 신호로 변환시켜 발생시키는 장비
  • · 고정밀, 고성능을 갖는 장비의 정밀도 측정 및 안정성 검증
  • · 색균일도, 색 분포의 분석 및 이미지 품질 분석에 활용
  • · 고해상도 평판의 픽셀 색상 및 분석이 가능함
    (Luminance : ±2%, Chromaticity : ±0.002)
  • · 380 ~ 780nm까지의 401개 이미지의 생성 가능
Features
  • · Wavelength Accuracy : ±2nm
  • · Wavelength Reproducibility : ≤0.4nm
  • · Spectral Bandwidth : 2nm
  • · Light Source : Tungsten Lamp
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제품 정보
Pulse Function Arbitrary Generator
81150A (Keysight-Technologies) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272559
다양한 신호 생성, 변조, 왜곡 기능을 통해 디바이스에 스트레스를 가하여 전자회로를 테스트 하는 장비에 활용
Features
Frequency Range
Pulse : 1μHz ~ 120MHz / Sine : 1μHz ~ 240MHz
Waveforms
Noise, adjustable crest factor, sine, pulse, square, ramp, arbitrary waveform
Channels
1 or 2, differential outputs
Output amplitude
50 Ω into 50 Ω
  • – High voltage
  • – 100 mVpp to 10 Vpp
  • – High bandwidth
  • – 50 mVpp to 5 Vpp
Modulation types
AM, FM, PM, FSK, PWM external and internal, double pulse
Transition times
2.5 ns to 1000 s (10% to 90%)
Output impedance
50Ω / 5Ω selectable
Sample rate
14-bit, 2 GSa/s arbitrary waveform
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제품 정보
Digital Storage Oscilloscope
Dsox6002A (Kesight Technologies) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272557
전자 및 전기의 교류 신호를 측정 분석하며, 시간에 따른 전기 신호의 변화를 시각적으로 확인할 수 있는 장비
  • · 대역폭 : 1GHz ~ 6GHz (2Channel)
  • · Sampling Speed : 20GSa/s half channels
Features
  • · 파형 업데이트 속도 : 45만회/sec · 메모리 Depth : 4Mpts
  • · 6-in-1 계측기로 많은 작업 수행
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제품 정보
Compact Spectrometer
CCS175/M (THORLABS) 장비 등록 번호 NFEC-2021-08-272560
시료에 발생하는 Spectrum에 대해서 파장을 검출하는 장비
  • · 파장 : 500 ~ 1000nm
  • · FWHM 정확도 : <1nm @ 633nm
Features
  • · Dark Current의 Noise 보정
  • · 움직이는 부품이 없는 장비

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